イナートガスオーブン
最終更新日：2023年6月29日
| 設備ID | UT-801 |
|---|---|
| 分類 | 熱処理・ドーピング > 熱処理、レーザーアニール |
| 設備名称 | イナートガスオーブン (Inert Gas Oven) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | 光洋サーモシステム (Koyo Thermo Systems) |
| 型番 | INH-9CD |
| キーワード | 加熱炉、アニール、拡散 |
| 仕様・特徴 | 窒素ガスを導入して、窒素雰囲気でプログラムした通りにベークできる電気炉。600℃まで昇温可能。残留ガス濃度20ppm (カタログスペック) |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=UT-801 |
