パリレンコーター
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | UT-709 |
|---|---|
| 分類 |
成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線) 表面処理・洗浄 > その他 |
| 設備名称 | パリレンコーター (Parylene Coater) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | 米国SCS社 (Specialty Coating Systems) |
| 型番 | PDS2010 |
| キーワード | 絶縁膜、パリレン |
| 仕様・特徴 | 8インチまでの成膜が可能。 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=UT-709 |
