ウェハゴミ検査装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-301 |
|---|---|
| 分類 |
光学顕微鏡 > その他 膜厚・粒度測定 > その他 |
| 設備名称 | ウェハゴミ検査装置 (Wafer dust counter) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | トプコン (Topcon) |
| 型番 | WM-3 |
| キーワード | ウェハ上のパーティクル測定（数、大きさ、分布） |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～6インチ カセットtoカセット |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TU-301 |
