KrFステッパ
最終更新日：2026年4月1日
| 設備ID | TU-071 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > 光露光（ステッパ） |
| 設備名称 | KrFステッパ (KrF stepper) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | キヤノン (Canon) |
| 型番 | FPA-3030EX6 |
| キーワード | KrF、ステッパ、高精度露光、高速露光、Siウェハ、化合物ウェハ、ガラスウェハ、カセット |
| 仕様・特徴 | 最小線幅150 nm程度の露光が可能なKrFステッパ ・サンプルサイズ：小片～8インチ ・対応オリフラ(OF)：4"と6"インチはOF(JEITA/SEMI)、8"インチはノッチ ・ウェハ厚み：300～800 µm ・カセットtoカセット ・波長：248 nm ・最小露光線幅：0.15 µm以下 ・重ね合せ精度 ：15 nm ・ショットサイズ：最大22 ㎜□、または最大17x26mm ・レチクル：6インチ（6025） ・透明基板（ガラスウェハ）対応 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TU-071 |
