日立FE-SEM
最終更新日：2026年4月1日
| 設備ID | TU-331 |
|---|---|
| 分類 |
走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > X線蛍光分光分析 表面分析（深さ方向元素分析を含む） > その他 |
| 設備名称 | 日立FE-SEM (Hitachi FE-SEM) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | |
| メーカー名 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | SU8600 |
| キーワード | 電界放出型SEM、FE-SEM、走査型電子顕微鏡、EDS、EDX |
| 仕様・特徴 | 電解放出型走査電子顕微鏡、FE-SEM ・サンプルサイズ：小片～8インチ ・観察範囲：6インチまでは全面、8インチウェハは一部 ・EDS（EDX）付 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TU-331 |
