KLA Tencor 段差計
最終更新日：2026年4月1日
| 設備ID | TU-330 |
|---|---|
| 分類 |
膜厚・粒度測定 > 段差計 膜厚・粒度測定 > 膜厚測定 |
| 設備名称 | KLA Tencor 段差計 (KLA Tencor profiler) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | KLA テンコール (KLA Tencor) |
| 型番 | P-16OF+ |
| キーワード | 触針式、表面形状測定、段差計、膜厚測定 |
| 仕様・特徴 | 触針式の薄膜の膜厚測定段差計 ・サンプルサイズ：小片～8インチ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TU-330 |
