BEAMER PC
最終更新日：2026年4月1日
| 設備ID | TU-070 |
|---|---|
| 分類 |
リソグラフィ > その他 理論計算・シミュレーション > CAD 理論計算・シミュレーション > シミュレーション |
| 設備名称 | BEAMER PC (BEAMER PC) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | GenISys (GenISys Inc.) |
| 型番 | BEAMER |
| キーワード | 近接効果補正、グレースケール露光、電子線描画補正、EB描画補正、マスクデータ補正 |
| 仕様・特徴 | 電子線描画装置やレーザー描画装置用描画データの補正PC ・近接効果補正 ・グレイスケール露光補正 ・電子線描画補正 ・EB描画補正 ・マスクデータ補正 など |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TU-070 |
