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マルチモーダル分析電子顕微鏡

最終更新日:2026年4月1日
設備ID NM-518
分類 透過電子顕微鏡 > 透過型電子顕微鏡
回折・散乱 > 電子回折
設備名称 マルチモーダル分析電子顕微鏡 (Multimodal Analytical Electron Microscope)
設置機関 物質・材料研究機構 (NIMS)
設置場所 NIMS千現地区 精密計測実験棟128室
メーカー名 サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) (Thermo Fisher Scientific)
型番 Talos F200X G2
キーワード 結晶構造解析
組成分布観察
仕様・特徴 ・加速電圧80、200kV
・電子銃:超高輝度冷陰極電解放出型電子銃
・TEMインフォメーションリミット:0.11nm(@200kV)
・HAADF-STEM分解能0.14nm
・大面積EDS(SuperX)
・3次元トモグラフィー
・CMOSカメラ
・分割型検出器
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=NM-518
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