フルオート電子ビーム蒸着装置用SEM
最終更新日：2026年5月1日
| 設備ID | OS-130 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | フルオート電子ビーム蒸着装置用SEM (Full automatic electron beam evaporation - Scannning Electron Microscope) |
| 設置機関 | 大阪大学 |
| 設置場所 | 産業科学研究所N415 |
| メーカー名 | 株式会社 日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation) |
| 型番 | FlexSEM1000Ⅱ |
| キーワード | 簡易型SEM 簡易型EDS エネルギー分散型X線分光 走査型プローブ電子顕微鏡 |
| 仕様・特徴 | 【特徴】 本装置は、「クラス最高分可能4nm」と「卓上顕微鏡のような使いやすさ」を両立した、エネルギー分散型X線分析装置 付き簡易型SEM 【仕様】 1.観察倍率： 10 倍～30 万倍 2.加速電圧： 0.3～120kV (20 段階) 3.低真空圧力設定範囲： 6～100Pa (10 段階) 4.試料ステージ可動域： 1) X 軸 0～50mm 2) Y 軸 0～40mm 3) Z 軸 5～30mm 4) T（傾斜） -15～＋90° 5) R（回転） 0～360° 6) ユーセントリックな回転可能 5.最大試料寸法： 80mmφ 6.二次電子検出器： 高真空環境下で使用可能な二次電子専用検出器、および低真空で使用できる検出器（UVD）を搭載 7.反射電子検出器：5 分割以上の検出器構造 8.観察方法：事前に装置付属のカメラで取り込んだ試料ステージの画像情報をもとに、観察可能 9.モニタリング：フィラメントの状態をモニタリング可能 10.EDS：定量補正計算方法にXPP法を使用 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=OS-130 |
