硬X線光電子分光装置
最終更新日：2026年4月1日
| 設備ID | SH-014 |
|---|---|
| 分類 | 状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > X線光電子分光 （XPS（硬X線を含む）） |
| 設備名称 | 硬X線光電子分光装置 (X-ray photoelectron spectroscopy) |
| 設置機関 | 信州大学 |
| 設置場所 | 信州大学 長野（工学）キャンパス 国際科学イノベーションセンター |
| メーカー名 | アルバックファイ (Ulvac Phi) |
| 型番 | Model 900 for HAXPES |
| キーワード | 導体、絶縁体材料対応 化学組成 化学結合分析 |
| 仕様・特徴 | Al,Cr単色化X線源、MgX線源 絶縁物分析可能（デュアルビーム方式帯電中和） 分析領域：5µｍΦ〜 最大試料サイズ 80ｍｍｘ80ｍｍ 厚さ12ｍｍ 加熱ホルダー有（室温～800℃まで） |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=SH-014 |
