イナートガスオーブン
最終更新日：2026年4月1日
| 設備ID | GA-019 |
|---|---|
| 分類 | 熱処理・ドーピング > 熱処理、レーザーアニール |
| 設備名称 | イナートガスオーブン (Inert gas oven) |
| 設置機関 | 香川大学 |
| 設置場所 | 香川県科学技術研究センター |
| メーカー名 | 光洋サーモシステム(JTEKTサーモシステム） (JTEKT Thermo Systems) |
| 型番 | KLO-30NH |
| キーワード | 加熱炉、アニール |
| 仕様・特徴 | N2ガス雰囲気下での加熱処理が可能な小型オーブン。 温度プログラム制御により、昇温・保持・降温の各工程を安定して実施可能。 最高使用温度：600℃ 用途：材料アニール、乾燥、脱ガス、前処理 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=GA-019 |
