半導体パラメータアナライザ
最終更新日：2026年4月1日
| 設備ID | GA-018 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 設備名称 | 半導体パラメータアナライザ (Semiconductor parameter analyzer) |
| 設置機関 | 香川大学 |
| 設置場所 | 香川大学 創造工学部 6号館 総合研究棟 |
| メーカー名 | キーサイト・テクノロジー株式会社 (Keysight Technologies, Inc.) |
| 型番 | B1500A |
| キーワード | 半導体デバイスの特性評価 |
| 仕様・特徴 | ・半導体デバイスのI–V特性、リーク電流、しきい値、抵抗値、絶縁破壊特性評価 ・搭載モジュール B1511A（中電力SMU）×2ユニット/B1517A（高分解能SMU）×4ユニット GNDU（グランドユニット） ・電圧印可範囲/電流測定範囲 B1517A（HRSMU）±100 V/0.1 fA ～ 100 mA B1511A（MPSMU）±100 V/1 pA ～ 1 A |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=GA-018 |
