HMDSベーク処理装置 [APPS-30]
最終更新日：2026年2月2日
| 設備ID | NM-672 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > レジスト処理装置 |
| 設備名称 | HMDSベーク処理装置 [APPS-30] (HMDS Vaper Priming System [APPS-30]) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 材料信頼性実験棟102室 |
| メーカー名 | リソテックジャパン (Litho Tech Japan) |
| 型番 | APPS-30 |
| キーワード | HMDS、疎水化、表面改質、プライマー、レジスト塗布 / HMDS, Surface treatment, Resist coating |
| 仕様・特徴 | ・用途：HMDS処理 ・処理方法：バブリング方式 ・試料サイズ：最大φ8インチ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=NM-672 |
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