UV/オゾン処理装置
最終更新日：2025年9月24日
| 設備ID | TH-371 |
|---|---|
| 分類 | 表面処理・洗浄 > その他 |
| 設備名称 | UV/オゾン処理装置 (UV/O3 Treatment System) |
| 設置機関 | 豊橋技術科学大学 |
| 設置場所 | IRES2 |
| メーカー名 | サムコ (Samco) |
| 型番 | UV-1 |
| キーワード | 集積回路・MEMS/センサデバイスのドライプロセス加工、UV・オゾン表面改質 |
| 仕様・特徴 | UV・オゾンにより試料表面の改質処理を行う。 使用ガス：O2 ステージサイズ：φ200mm |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TH-371 |
