EB蒸着装置(SANVAC)
最終更新日：2025年9月24日
| 設備ID | TH-205 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線) |
| 設備名称 | EB蒸着装置(SANVAC) (Metal Deposition System(SANVAC)) |
| 設置機関 | 豊橋技術科学大学 |
| 設置場所 | IRES2 |
| メーカー名 | サンバック (SANVAC) |
| 型番 | ED-1600 |
| キーワード | MEMS/センサデバイス用金属膜成膜 EB蒸着 |
| 仕様・特徴 | 方式：EB蒸着、フェイスダウン 対応試料：φ6インチ以下 材料：Au、Ti その他金属持ち込み可能 化合物材料、ポストCMOS工程での金属材料成膜に利用可能 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TH-205 |
