汎用メタルスパッタ装置(Noyes)
最終更新日：2025年9月24日
| 設備ID | TH-204 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > スパッタリング（スパッタ） |
| 設備名称 | 汎用メタルスパッタ装置(Noyes) (Metal Deposition System (Noyes)) |
| 設置機関 | 豊橋技術科学大学 |
| 設置場所 | IRES2 |
| メーカー名 | ノイエス (Noyes) |
| 型番 | RFS-400 |
| キーワード | MEMS/センサデバイス用金属膜成膜 RFスパッタガン |
| 仕様・特徴 | 方式：RFガン、フェイスダウン ターゲットサイズ：φ2インチ 対応試料：φ4インチ以下 材料：Ti,Pt,Au,Ir その他金属持ち込み可能 基板回転機構あり ターゲットサイズが小さいため、貴金属材料の成膜に向く |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TH-204 |
