フラットネステスタ
最終更新日：2025年9月24日
| 設備ID | TH-724 |
|---|---|
| 分類 | 光学顕微鏡 > その他 |
| 設備名称 | フラットネステスタ (Flatness Tester) |
| 設置機関 | 豊橋技術科学大学 |
| 設置場所 | IRES² |
| メーカー名 | ニデック (Nidek) |
| 型番 | FT-17 |
| キーワード | ウェーハのそり・ひずみの計測 |
| 仕様・特徴 | フラットネステスタ 対応基板：φ2インチ、φ4インチ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TH-724 |
