集束イオンビーム加工装置
最終更新日：2025年9月24日
| 設備ID | TH-702 |
|---|---|
| 分類 | 微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） |
| 設備名称 | 集束イオンビーム加工装置 (Focused Ion Beam (FIB) System) |
| 設置機関 | 豊橋技術科学大学 |
| 設置場所 | IRES² |
| メーカー名 | SIIナノテクノロジー (SII Nanotechnology) |
| 型番 | SMI3200TS |
| キーワード | FIB 加工(エッチング) デポジション 配線修正 |
| 仕様・特徴 | イオンビームによる堆積・エッチングにより加工および観察を同時に行える イオン源：Ga、C 試料サイズ：φ8インチ以下 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TH-702 |
