温度可変ステージプローバ測定装置
最終更新日：2025年9月24日
| 設備ID | TH-843 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 設備名称 | 温度可変ステージプローバ測定装置 (Semiconductor Electrical Characterization System(Variable Temperature)) |
| 設置機関 | 豊橋技術科学大学 |
| 設置場所 | IRES² |
| メーカー名 | ハイソル, ケースレー, アジレント (Hisol, Keithley, Agilent) |
| 型番 | KS8-4200-SYS, 4200A, 4284A |
| キーワード | 半導体・集積回路のデバイス電気特性評価 半導体パラメータアナライザ CV測定 |
| 仕様・特徴 | マニュアルプローバシステム。半導体パラメータアナライザ ケースレー4200A、インピーダンスメータ アジレント4284A他、任意の電源等接続して利用可能。 プローブ本数：4本 対応基板：φ6インチ以下 ステージ温度：-60～190℃ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TH-843 |
