セミオートプローバ測定装置
最終更新日：2025年9月24日
| 設備ID | TH-842 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 設備名称 | セミオートプローバ測定装置 (Semiconductor Electrical Characterization System(Semi-Automatic)) |
| 設置機関 | 豊橋技術科学大学 |
| 設置場所 | IRES² |
| メーカー名 | 東京精密, アジレント (Accretech, Agilent) |
| 型番 | A-PM-50A, 4155C |
| キーワード | 半導体・集積回路のデバイス電気特性評価 半導体パラメータアナライザ 波形測定・観察 |
| 仕様・特徴 | セミオートウェハプローバシステム。専用のプローブカードが必要。半導体パラメータアナライザ アジレント4155C他、任意の直流電源、オシロスコープ等と組み合わせて利用可 対応基板： Siウェハ専用 φ4インチ以下 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TH-842 |
