4探針抵抗測定装置
最終更新日：2025年9月24日
| 設備ID | TH-841 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > 膜厚測定 |
| 設備名称 | 4探針抵抗測定装置 (Four-Point Probe Measurement System) |
| 設置機関 | 豊橋技術科学大学 |
| 設置場所 | IRES² |
| メーカー名 | ナプソン (Napson) |
| 型番 | RT-6-8 |
| キーワード | 抵抗率測定 膜厚測定 |
| 仕様・特徴 | 4探針抵抗測定装置 対応基板：φ6インチ以下 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TH-841 |
