エリプソメータ
最終更新日：2025年9月24日
| 設備ID | TH-803 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > エリプソメーター |
| 設備名称 | エリプソメータ (Ellipsometer) |
| 設置機関 | 豊橋技術科学大学 |
| 設置場所 | IRES² |
| メーカー名 | ルドルフ (Rudolph) |
| 型番 | AutoEL-III |
| キーワード | エリプソメータ 非接触膜厚測定 |
| 仕様・特徴 | 単色(632.8nm)エリプソメータ 試料サイズ：φ4インチ以下 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TH-803 |
