段差計
最終更新日：2025年9月24日
| 設備ID | TH-802 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > 段差計 |
| 設備名称 | 段差計 (Surface Step Profiler) |
| 設置機関 | 豊橋技術科学大学 |
| 設置場所 | IRES² |
| メーカー名 | 小坂研究所 (Kosaka Lab) |
| 型番 | ET4000A |
| キーワード | 段差測定 表面形状測定 膜厚測定 |
| 仕様・特徴 | 触針型段差計 最大サンプルサイズ：210×210mm 測定範囲：Z～100μm X～100mm 分解能 Z：0.1nm X：0.01μm 針圧：0.5μN～500μN |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TH-802 |
