干渉膜厚計
最終更新日：2025年9月24日
| 設備ID | TH-801 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > 膜厚測定 |
| 設備名称 | 干渉膜厚計 (Optical Interferometer) |
| 設置機関 | 豊橋技術科学大学 |
| 設置場所 | IRES² |
| メーカー名 | 大日本スクリーン (Screen) |
| 型番 | VM-1230 |
| キーワード | 干渉膜厚計 酸化膜 薄膜poly-Si Si窒化膜 |
| 仕様・特徴 | 干渉膜厚計。SiO2,SiN,poly-Siの膜厚測定。多層膜も可 対応基板：φ2インチ～φ6インチ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TH-801 |
