走査型電子顕微鏡(JSM-7100F)
最終更新日：2025年9月24日
| 設備ID | TH-701 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | 走査型電子顕微鏡(JSM-7100F) (Electron Microscopy System) |
| 設置機関 | 豊橋技術科学大学 |
| 設置場所 | IRES² |
| メーカー名 | 日本電子, アルバック (JEOL, ULVAC) |
| 型番 | JSM-7100F, VPS-050 |
| キーワード | 集積回路・MEMSプロセスでのマイクロパターン観察 寸法計測 |
| 仕様・特徴 | 【JSM-7100F】 測長機能付きの走査型電子顕微鏡。 最大倍率：1,000,000倍 加速電圧：0.5-30kV 分解能：1.2nm (30kV) 対応試料サイズ：φ4インチ以下 (付帯装置) 【VPS-050】 SEM観察時のチャージアップ防止のための金属(Au)膜コーティングを行う 試料サイズ：φ2インチ以下 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TH-701 |
