スピン乾燥機
最終更新日：2025年9月24日
| 設備ID | TH-152 |
|---|---|
| 分類 | 表面処理・洗浄 > その他 |
| 設備名称 | スピン乾燥機 (Spin Dryer) |
| 設置機関 | 豊橋技術科学大学 |
| 設置場所 | IRES2 |
| メーカー名 | セミツール (Semitool) |
| 型番 | SRD270(改) |
| キーワード | 集積回路ウェーハの乾燥 スピン乾燥 |
| 仕様・特徴 | 集積回路製造のメタルプロセス前までの、DIW後のウェーハ乾燥に用いることができます。 対応ウェーハサイズ：φ2インチ、φ4インチ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TH-152 |
