有機ドラフトチャンバー(ダルトン)
最終更新日：2025年9月24日
| 設備ID | TH-103 |
|---|---|
| 分類 | 表面処理・洗浄 > ウェット処理 |
| 設備名称 | 有機ドラフトチャンバー(ダルトン) (Wet bench(DALTON ECS-1)) |
| 設置機関 | 豊橋技術科学大学 |
| 設置場所 | IRES2 |
| メーカー名 | ダルトン (DALTON) |
| 型番 | ECS-1 |
| キーワード | 集積回路・MEMS/センサプロセスにおける現像・リンス リソグラフィ |
| 仕様・特徴 | イエロールーム内に設置 リソグラフィ後の現像、リンス処理が可能な有機薬品用ドラフタ DIW使用可能 N2ブロー可能 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TH-103 |
