無機ドラフトチャンバー(ダルトン)
最終更新日：2025年9月24日
| 設備ID | TH-101 |
|---|---|
| 分類 | 表面処理・洗浄 > ウェット処理 |
| 設備名称 | 無機ドラフトチャンバー(ダルトン) (Wet bench(DALTON DF-1)) |
| 設置機関 | 豊橋技術科学大学 |
| 設置場所 | IRES2 |
| メーカー名 | ダルトン (DALTON) |
| 型番 | DF-1, ECD-3000BEW |
| キーワード | 集積回路・MEMS/センサプロセスの洗浄 ウェットエッチング処理 |
| 仕様・特徴 | RCA洗浄、DHF、BHF、混酸等の調合、昇温、ウェハ処理、DIW水洗、スピン乾燥またはN2ブロー乾燥が可能 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TH-101 |
