3次元光学プロファイラ（NewView9000）
最終更新日：2025年7月14日
| 設備ID | TT-037 |
|---|---|
| 分類 | 光学顕微鏡 > その他 |
| 設備名称 | 3次元光学プロファイラ（NewView9000） (White light interferometer) |
| 設置機関 | 豊田工業大学 |
| 設置場所 | 通常実験室 |
| メーカー名 | ザイゴ (Zygo) |
| 型番 | NewView9000 |
| キーワード | Zygo社NewView9000、白色干渉計、3次元光学プロファイラ、表面性状／形状測定。xyzチルト計5軸がモータ駆動。 |
| 仕様・特徴 | 急峻な穴構造であっても、底面、壁面（一部）、上面が分離されずに確度高く計測可能。斜面（粗面で85°、鏡面で40°）まで計測可能。画素数：1600x1200。 材料は不問。サイズと重量はステージに載れば良い。約1.5kgまでモーターステージ可動。 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=TT-037 |
