電界放出形走査電子顕微鏡（JSM7400F）
最終更新日：2025年12月10日
| 設備ID | AT-121 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | 電界放出形走査電子顕微鏡（JSM7400F） (Field Emission SEM（JSM7400F）) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JSM7400F |
| キーワード | FE-SEM、電界放出型電子銃、微細構造、3次元形状、EDX、組成分析 |
| 仕様・特徴 | ・型式：JSM-7400F ・試料サイズ：最大32mmΦ×10mmH ・電子銃：冷陰極電界放出型電子銃(コニカル形) ・加速電圧：0.1～30kV ・分解能：1.0nm(加速電圧15kV) ・試料ステージ制御：3軸モーター制御(X,Y,R)、2軸手動制御(Z,T) ・可動範囲：X;0～70mm、Y;0～50mm、Z;1.5～25mm、R;360°、T;-5～70°(標準ホルダー) ・検出器：二次電子検出器、反射電子検出器、エネルギー分散型X線検出器(EDX) |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=AT-121 |
