酸化炉
最終更新日：2025年4月3日
| 設備ID | UT-807 |
|---|---|
| 分類 |
熱処理・ドーピング > 酸化 成膜装置 > |
| 設備名称 | 酸化炉 (Oxidation furnace) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | ジェイテクト(旧光洋サーモシステム(株)) (JTEKT(formaly Koyo Thermosystem)) |
| 型番 | MT-2-8X32-AS |
| キーワード | 酸化 |
| 仕様・特徴 | シリコン基板の熱酸化膜を作製できる。 最高温度1150℃ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=UT-807 |