フィルムラミネーター
最終更新日：2025年4月3日
| 設備ID | UT-514 |
|---|---|
| 分類 |
リソグラフィ > レジスト処理装置 成膜装置 > その他 |
| 設備名称 | フィルムラミネーター (Film laminator) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 武田先端知クリーンルーム |
| メーカー名 | 大成ラミネーター株式会社 (Taise Laminator Co. Ltd.) |
| 型番 | MAⅡ-550 |
| キーワード | フィルムラミネーター、ロール to ロール、ドライフィルムレジスト |
| 仕様・特徴 | 感光性ドライフィルのカバーフィルムを剥がしながら、フォトレジスト・キャリアフィルを常圧ホットロールにより加熱/加圧し、フォトレジスト層を接着剤として基板の両面に連続的にラミネートする装置です。 ・有効50-400mm。小サイズ基板、試作、実験用。 ・室温-150℃ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=UT-514 |