CVDダイヤモンド合成装置
最終更新日：2025年4月3日
| 設備ID | SH-013 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > 化学蒸着(CVD)装置 |
| 設備名称 | CVDダイヤモンド合成装置 (Diamond CVD) |
| 設置機関 | 信州大学 |
| 設置場所 | 信州大学 長野（工学）キャンパス 国際科学イノベーションセンター |
| メーカー名 | コーンズ (Cornes) |
| 型番 | SX6350 |
| キーワード | ダイヤモンド |
| 仕様・特徴 | マイクロ波電源 2.45GHz 5kW 試料径 2インチ 加熱・冷却型試料ｽﾃｰｼﾞ付 室温～約900℃ 使用ガス H2、CH4、O2 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=SH-013 |
