微細構造解析3Dシステム GeminiSEM560
最終更新日：2025年4月1日
| 設備ID | NU-108 |
|---|---|
| 分類 |
走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 走査型顕微鏡 > |
| 設備名称 | 微細構造解析3Dシステム GeminiSEM560 (GeminiSEM560) |
| 設置機関 | 名古屋大学 |
| 設置場所 | 超高圧電子顕微鏡施設 |
| メーカー名 | Zeiss (Zeiss) |
| 型番 | GeminiSEM560 |
| キーワード | SEM(Scanning Electron Microscopy)機能 EDS元素分析装置 超高分解能SEM像 |
| 仕様・特徴 | 極低加速でのプローブ極極小化によるSEM高分解能の撮影が可能。 加速電圧：0.02 ～30kV EDSによる元素分析装置付属 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=NU-108 |
