蒸気二流体洗浄装置 [SSM101]
最終更新日：2025年4月10日
| 設備ID | NM-668 |
|---|---|
| 分類 | 表面処理・洗浄 > ウェット処理 |
| 設備名称 | 蒸気二流体洗浄装置 [SSM101] (Steam Two-Fluid Cleaning System [SSM101]) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 材料信頼性実験棟102室 |
| メーカー名 | HUGパワー (HUG Power) |
| 型番 | SSM101 |
| キーワード | 洗浄、リフトオフ、蒸気二流体、純水/ Cleaning, Lift-off, Steam two fluid, DI-water |
| 仕様・特徴 | ・用途：基板洗浄、リフトオフ ・手法：蒸気二流体超音速噴射 ・溶液：純水 ・乾燥：スピン乾燥、N2ブロー ・最大試料サイズ：φ6inch |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=NM-668 |
![蒸気二流体洗浄装置 [SSM101]](data/facility_item/1738542615_24.jpg)