電界放出形走査電子顕微鏡（SU8000）
最終更新日：2025年10月15日
| 設備ID | NM-227 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | 電界放出形走査電子顕微鏡（SU8000） (FE-SEM (SU-8000)) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 精密計測実験棟 114室 |
| メーカー名 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | SU-8000 |
| キーワード | 表面の形状観察及び元素分析 |
| 仕様・特徴 | ・対物レンズ：セミインレンズ型 ・加速電圧：0.5～30 kV ・二次電子像分解能：1.0 nm（加速電圧15 kV）、1.4 nm（リターディングモード：加速電圧1 kV） ・倍率：20～80万倍 ・反射電子検出器搭載 ・STEM（BF）検出器搭載 ・EDS付属（Bluker FlatQUAD） |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=NM-227 |
