ショットキー走査型電子顕微鏡
最終更新日：2024年8月5日
| 設備ID | UE-022 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | ショットキー走査型電子顕微鏡 (Scanning Electron Microscope) |
| 設置機関 | 電気通信大学 |
| 設置場所 | 東6号館1F101 |
| メーカー名 | 日立 (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | SU 5000 |
| キーワード | ショットキー、SEM、走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscopy |
| 仕様・特徴 | 試料のミクロな表面観察、組成観察（反射電子像） ・加速電圧: 0.5～30 kV（0.1 kVステップ） ・分解能： 二次電子像 1.2 nm（加速電圧30 kV， WD = 5.0 mm） 3.0 nm（加速電圧 1 kV， WD = 3.0 mm） 反射電子像 3.0 nm（加速電圧15 kV， WD = 5.0 mm） ・写真倍率: 10～600,000x |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=UE-022 |
