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真空蒸着装置群 (Vacuum Deposition Equipment)
- 設備ID
- NI-103
- 設置機関
- 名古屋工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- シンク/MBRAUN (Sinku of Technology Co., Ltd./MBRAUN)
- 型番
- JIS-300AK/DBO-1KP-0
- 仕様・特徴
- ●真空蒸着装置（JIS-300AK）
マイカ基板サイズ：15×15mm（標準）
マイカ厚み：0.1～0.15mm
金膜厚：100〜150nm
●グローブボックス（DBO-1KP-0）
Ar下における少量のサンプル調整（合成）が可能、電子天秤あり
- 設備状況
- 稼働中
中規模カーボンナノファイバー室温合成装置 (Room-Temperature Carbon Nanofiber Growth System (for Medium Sized Samples))
- 設備ID
- NI-104
- 設置機関
- 名古屋工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- 自作 (Home-made)
- 型番
- 自作
- 仕様・特徴
- カーボンナノファイバー(CNF)室温合成速度：10 nm/min程度以上。
試料サイズ：1インチ角程度以下。
- 設備状況
- 稼働中
特型表面ナノ構造形成装置 (Nanostructure Fabrication System)
- 設備ID
- NI-105
- 設置機関
- 名古屋工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック (ULVAC)
- 型番
- 特型
- 仕様・特徴
- 基板サイズ：２インチφ程度以下。超斜め入射イオンビームによるマスクレスの表面ナノ構造・ナノドット形成可能、組成制御可能、高分子材料の加工可能。
- 設備状況
- 稼働中
グラフェン・カーボンナノチューブ合成装置 (Chemical Vapor Deposition System for Graphene and Carbon Nanotubes Growth)
- 設備ID
- NI-106
- 設置機関
- 名古屋工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- 自作 (Home-made)
- 型番
- 自作
- 仕様・特徴
- 基板サイズ：2cm角程度以下
- 設備状況
- 稼働中