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12インチプローバー (12inch Prober)
- 設備ID
- UT-856
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- Cascade (Cascade)
- 型番
- Elite300
- 仕様・特徴
- シールドチャンバー付き
- 設備状況
- 稼働中
Elite300 附属電気特性測定装置 (Electronic measurement system attached to Elite 300)
- 設備ID
- UT-857
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- Cascade (Cascade)
- 型番
- Elite 300
- 仕様・特徴
- B1500A,DS090804A,N6705B,81160A,3498-A,DSO-Xを含むラック。MicroChamber、AttoGuard、および PureLine テクノロジーを備えた半自動プローブ ステーション プラットフォーム。
- 設備状況
- 稼働中
比抵抗測定器 (Specific electrical resistance tester)
- 設備ID
- UT-860
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 国際電気アルファ（日立国際電気） (Hitachi Kokusai Electric Inc.)
- 型番
- VR-120S
- 仕様・特徴
- ・測定可能ウェハーサイズ：76.2-300mm
・ 0.95秒／1点、1分／49点の高速処理
・浅いイオン注入層、薄い金属膜他の高精度測定
・シート抵抗分布が一目で分かるインテリジェントマッピング
・ Windowsライクな画面で操作性が飛躍的に向上
- 設備状況
- 稼働中
シールドルーム (Shield Room)
- 設備ID
- UT-951
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 東京計器 (Tokyo Keiki)
- 型番
- SR602M
- 仕様・特徴
- 1.電磁波の影響を受けず測定ができる環境を提供します。
2.メッシュ式シールドルーム
3.内寸：W2.7mｘD3.6mｘH2.1m
4.シールド性能：500KHz（または150kHz）～2GHzにおいて60dB以上減衰（電界/平面波）
- 設備状況
- 稼働中
HF,VHF,UHF測定装置群（カテゴリ1200） (HF, VHF, UHFMeasuring Devices（Category 1200）)
- 設備ID
- UT-952
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 1.東洋メディック、2.独ローデシュワルツ、3.NF回路設計ブロック、4.NF回路設計ブロック、5.三菱電機エンジニアリング、6.テクトロニクス、7.ローデ・シュワルツ、8.エレクトロニクス&イノベーション、9.エレクトロニクス&イノベーション (1.Toyo Medic、2.Rohde & Schwarz、3.NF Corporation、4.NF Corporation、5.Mitsubishi Electric Engineering、6.Tektronx、7.Rohde & Schwarz、8.Electronic & Innovation、9.Electronic & Innovation)
- 型番
- 1.等方性電磁界測定装置EHP-200A（東洋メディック）、2.ベクトルネットワークアナライザVNA R&S ZVL6（独ローデシュワルツ）、3.周波数応答分析装置FRA5097（NF回路設計ブロック）、4.高速バイポーラ電源 HSA4101（NF回路設計ブロック）、5.無線供給用電源KM-1 T1050（三菱電機エンジニアリング）、6.スペアナRSA5106B（テクトロニクス）、7.パワーメーターNRP-Z91（ローデ・シュワルツ）、8.リニアアンプA075 ７５W（エレクトロニクス&イノベーション）、9.リニアアンプ1041L 400W（エレクトロニクス&イノベーション）
- 仕様・特徴
- 1.等方性電磁界測定器EHP-200A、9kHzから30MHzの周波数帯域における電界（0.02～1000V/m）または磁界（6mA/m～300A/m）を高精度に測定する等方性電磁界測定器です。
2.ベクトルネットワークアナライザVNA R&S ZVL6、9KHzから6GHzの周波数帯域におけるSパラメータを高速・高精度に解析できる装置です。
3.周波数応答分析装置FRA5097、ディジタルフーリエ積分方式の優れたノイズ除去特性を生かし、0.1 mHzから15MHzの周波数帯域において、被測定対象の周波数応答（振幅・位相）を高精度に測定する装置です。
4.高速バイポーラ電源HSA4101、直流から最高10MHzまでの信号を扱うことができる高速・広帯域・高電圧出力のバイポーラ方式電力増幅器です。
5.無線供給用電源KM-1 T1050、無線電力伝送装置の開発に使用できる6.78MHz，50W 出力電源
6.スペアナRSA5106B、最高40GHzの周波数帯域に対応し、VLFバンドからKuバンドまでの9kHz～18.0GHzの信号をすばやく捕捉できます。
7.パワーメーターNRP-Z91、アベレージ・パワー・センサ：9kHz～6GHzの周波数範囲
8.リニアアンプA075、クラスA 75W出力、周波数300KHz～35MHz
9.リニアアンプ1040L、400W出力、周波数10KHz～5MHz
- 設備状況
- 稼働中
電波暗箱 (Radio waves shield box)
- 設備ID
- UT-953
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- マイクロニクス (micronix)
- 型番
- MY5310B
- 仕様・特徴
- ・フェライト系電波吸収体を使用。
・超小型・広帯域アンテナ（30MHz～1GHz）を用意。
EMI試験に最適
・内寸：1230(W)x915(H)x915(D)
・ドア開口部寸法：約410(W)×710(H)mm
・同軸コネクタ：N(J)×1（正面左下・アンテナ用）、N(J)×1（右側面下）
・インターフェース：D-sub25ピン×1（メス）、LAN×1
AC×1（250Vmax/10A）、※電動ターンテーブル装着時はAC100V
・シールド性能：70dB typ@2.2GHz
・吸収性能：20dB以上＠35MHz～2.2GHz
注意：キャリブレーションキット（ZV-Z132、R&S）が武田309号室川原研究室にあります。使用したい場合はお声掛けください。
- 設備状況
- 稼働中
HF, VHF, UHF測定装置群（カテゴリ600） (HF, VHF, UHFMeasuring Devices（Category 600）)
- 設備ID
- UT-954
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 1.ローデアンドシュワルツ 2.テクトロニクス 3.株式会社ドルフィンシステム (1.ROHDE&SCHWARZ 2.Tektronix 3.Dolphin System Co.,Ltd.)
- 型番
- 1.信号発生器 SMC100 2.オシロスコープ MSO2024 3.USRP RIO 2944R
- 仕様・特徴
- 1.高い柔軟性と汎用性を備えた信号発生器です。9 kHz ~ 1.1 GHz/3.2 GHzの周波数範囲に対応し、出力パワーは、+17 dBm（代表値）以上です。また、アナログ変調（AM/FM/φM/パルス変調）機能を標準装備しています。
2.ベンチトップオシロスコープ, 200MHZ, 1 GS/S 4+16 CH
3.RFの収録・再生システムです。対応周波数と帯域幅 10M～6GHz、160M BW、収録可能帯域幅 800MB/s
- 設備状況
- 稼働中
バッテリーエミュレータ (Battery Emulator)
- 設備ID
- UT-955
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ケースレー (Keithley)
- 型番
- 2281S-20-6
- 仕様・特徴
- 2281S-20-6型ダイナミック・バッテリ・シミュレータ（エミュレータ）は、バッテリ・モデルを使用して、さまざまな充電状態におけるバッテリの応答をエミュレート（再現）できます。バッテリ寿命の推定に使用できるほか、異なる充電状態における製品の性能も解析できます。
・最大電圧 20V、最大電流 6A
- 設備状況
- 稼働中
パワーアナライザ (Power analyzer)
- 設備ID
- UT-956
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日置電機 (HIOKI E.E. CORPORATION)
- 型番
- PW6001
- 仕様・特徴
- モーターの力率、パワーデバイスの電力変換効率を高精度計測するパワーアナライザ
・電力基本確度±0.05％
・高い耐ノイズ性能と高い安定性 （80dB/100kHzのCMRR, ±0.01%/℃の温度特性）
・周波数帯域DC, 0.1Hz〜2MHz
- 設備状況
- 稼働中
ソースメーター (Source meter)
- 設備ID
- UT-957
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ケースレー/テクトロニクス (Keithley/Tektronix)
- 型番
- 2450
- 仕様・特徴
- 4象限、高確度の電圧、電流印加・負荷と測定機能を組み合わせた製品です。安定度の高いDC電源と計測器クラスの6.5桁マルチメータを備えています。
・最大電力エンベロープ 60W DC
・V/Iレンジ 100nV～1,100 V、1pA～5A
- 設備状況
- 稼働中