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微小デバイス特性評価装置 (Electron Beam Absorbed Current (EBAC) Characterization System nanoEBAC )
- 設備ID
- NR-601
- 設置機関
- 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- NE4000
- 仕様・特徴
- ・加速電圧: 500 V ～ 30 kV
・分解能: 15nm（加速電圧2kV、WD_15mm）
・プローブユニット：4
・付属：半導体デバイス・アナライザ（B1500A）
- 設備状況
- 稼働中
分光感度・内部量子効率測定装置 (Solar Simulator)
- 設備ID
- NR-602
- 設置機関
- 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 分光計器 (BUNKOUKEIKI)
- 型番
- CEP-2000RP
- 仕様・特徴
- ・波長範囲；300～1200nm
・単色照射面積：10×10mm
- 設備状況
- 稼働中
物理特性測定装置 (Physical Property Measurement System: PPMS)
- 設備ID
- OS-128
- 設置機関
- 大阪大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本カンタム・デザイン株式会社 (Quantum Design Japan, Inc.)
- 型番
- DynaCool-9
- 仕様・特徴
- 【用途】
低温・高磁場での材料物性測定
【仕様】
温度制御
温度範囲1.85K～400K
温度安定度±0.02％(T>20K)、 ±0.1％(T≦20K)
温度可変速度 0.01K/分～12K/分
冷却速度 40分：300K→1.9K
磁場制御
超電導マグネット ±９T
磁場均一度 ±0.01％ 1cm×3cm
磁場分解能 0.16 Oe
【測定オプション】
直流抵抗、電気輸送特性（ETO）、Van der Pauw-ホール輸送特性、試料回転機構、多機能プローブ
・精度の高い測定と測定時間の短縮（従来機より高度な温度制御システム、高真空システムが搭載、CAN（Controller Area Network）使用）
・ユーザーの要望に応えられるカスタマイズ性（多機能プローブにより 光学・マイクロ波等を用いた測定や、試料に追加の電極を必要とする測定が可能。
- 設備状況
- 稼働中
プローバ (High-temperature manual probe station)
- 設備ID
- RO-511
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本マイクロニクス (Micronics Japan)
- 型番
- C-51
- 仕様・特徴
- 解析・評価を行うためのマニュアルプローバ
- 設備状況
- 稼働中
半導体パラメータアナライザ (Semiconductor Parameter Analyzer)
- 設備ID
- RO-512
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- アジレント (Agilent)
- 型番
- 4156他
- 仕様・特徴
- トランジスタ特性測定（HP4156、プローバ含む）、
電源3ユニット、最小測定電流0.1pA
- 設備状況
- 稼働中
LCRメータ (LCR meter)
- 設備ID
- RO-513
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- アジレント (Agilent)
- 型番
- 4284他
- 仕様・特徴
- 周波数 20Hz～1MHz 16048B
- 設備状況
- 稼働中
インピーダンスアナライザ (Impedance Analyzer)
- 設備ID
- RO-514
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- アジレント (Agilent)
- 型番
- 4294他
- 仕様・特徴
- 周波数 40Hz～110MHz 16048H
- 設備状況
- 稼働中
ホール効果測定装置 (Hall effect measuring device)
- 設備ID
- RO-515
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- ACCENT (ACCENT)
- 型番
- HL5500PC
- 仕様・特徴
- 試料の抵抗値、キャリア濃度及び移動度を測定可
試料サイズ：Φ２５mm以内
電流設定範囲：0.1μA～19.9mA
磁石強度は0.32T
- 設備状況
- 稼働中
半導体パラメータアナライザ (Semiconductor Parameter Analyzer)
- 設備ID
- RO-516
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- キーサイト (Keysight)
- 型番
- B1500A
- 仕様・特徴
- トランジスタ特性測定（ID-VD, ID- VG等）、HR-SMU4基内臓
- 設備状況
- 稼働中
ミックスドシグナルオシロスコープ (Mixed Signal Oscillosope)
- 設備ID
- RO-517
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- キーサイト (Keysight)
- 型番
- MSOX4024G
- 仕様・特徴
- 集積回路測定（ロジック、アナログ）、200MHz
- 設備状況
- 稼働中