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ウェハプローバ (Wafer prober)
- 設備ID
- GA-011
- 設置機関
- 香川大学
- 設備画像
- メーカー名
- ｶｰﾙ･ｽﾞｰｽ (SUSS MicroTec)
- 型番
- PM5
- 仕様・特徴
- 対応基板サイズ：直径1インチ～150mm
X・Y移動範囲（粗動）：最大150mm×150mm
X・Y移動範囲（微動）：10mm×10mm
Θ調整範囲：360°
高さ調整範囲：10mm
顕微鏡X・Y移動範囲：50mm×50mm
- 設備状況
- 稼働中
半導体パラメータアナライザ (Semiconductor parameter analyzer)
- 設備ID
- GA-018
- 設置機関
- 香川大学
- 設備画像
- メーカー名
- キーサイト・テクノロジー株式会社 (Keysight Technologies, Inc.)
- 型番
- B1500A
- 仕様・特徴
- ・半導体デバイスのI–V特性、リーク電流、しきい値、抵抗値、絶縁破壊特性評価
・搭載モジュール
B1511A（中電力SMU）×2ユニット/B1517A（高分解能SMU）×4ユニット
GNDU（グランドユニット）
・電圧印可範囲/電流測定範囲
B1517A（HRSMU）±100 V/0.1 fA ～ 100 mA
B1511A（MPSMU）±100 V/1 pA ～ 1 A
- 設備状況
- 稼働中
磁気光学効果評価装置 (Evaluation appratus for magneto-optic effect)
- 設備ID
- IT-031
- 設置機関
- 東京科学大学（旧：東京工業大学）
- 設備画像
- メーカー名
- プレサイスゲージ サンテック FiberPro アドバンテスト ネオアーク 等のメーカー (Precise Gauges Santech FiberPro Advantest Neoark and other manufacturers)
- 型番
- PGAL-1005 TSL-510 CLS-561 Q8384 BH-762P-TIT
- 仕様・特徴
- プレサイスゲージ社製導波路調芯装置/サンテック社製波長可変光源（波長1500～1680nm）/FiberPro社製ASE光源（~20dBm）/アドバンテスト社製光スペクトラムアナライザ（波長分解能0.01nm）による光導波路試料の磁気光学効果の測定
ファラデー回転測定装置（波長1550nm、最大磁場~1.6T：面直）/ネオアーク社製磁気カー偏光顕微鏡（対物レンズ50倍、最大磁場~0.1T：面内）による薄膜試料の磁気光学効果の測定
- 設備状況
- 稼働中
東京エレクトロン300mm ウェハプローバ (Tokyo Electron 300mm Wafer Prober)
- 設備ID
- IT-035
- 設置機関
- 東京科学大学（旧：東京工業大学）
- 設備画像
- メーカー名
- 東京エレクトロン (Tokyo Electron)
- 型番
- PrecioNanoPV00043
- 仕様・特徴
- 150mm, 200mm, 300mmウェハ対応プローバー
多数枚自動測定対応、シリコンフォトニクス受動デバイス静特性測定
- 設備状況
- 稼働中
FormFactor 300mm ウェハプローバ (FormFactor 300mm Wafer Prober)
- 設備ID
- IT-036
- 設置機関
- 東京科学大学（旧：東京工業大学）
- 設備画像
- メーカー名
- FormFactor (FormFactor)
- 型番
- CM300
- 仕様・特徴
- チップ~ 300mmウェハ対応プローバー
単枚自動測定対応、シリコンフォトニクス受動デバイス静/動特性測定
- 設備状況
- 稼働中
マイクロシステムアナライザ (Micro System Analyzer)
- 設備ID
- KT-316
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- ポリテックジャパン(株) (Polytec)
- 型番
- MSA-500-TPM2-20-D
- 仕様・特徴
- MEMSデバイスの動的特性(面外,面内)
および表面形状を3次元で測定
・MEMSデバイスの動的特性(面外,面内)および表面形状を3次元で測定
- 設備状況
- 稼働中
プローバ (Prober)
- 設備ID
- KT-317
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- (株)日本マイクロニクス (MICRONICS JAPAN CO., LTD.)
- 型番
- Model 708fT
- 仕様・特徴
- 微小電流(ｆAレベル)領域の解析・評価を行うためのマニュアルプローバ
・マニュアルタイプ
・ウエハサイズ ～Φ200mm
- 設備状況
- 稼働中
真空プローバ (Vacuum Probe System)
- 設備ID
- KT-318
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- カスケード・マイクロテック(株) (Cascade Microtech, Inc.)
- 型番
- PLV50
- 仕様・特徴
- Φ150mm基板まで対応できるマニュアルプローブシステム
(-40℃～+200℃過調制御可能)
・チャックサイズ：Φ150mm，Φ100mm，小片基板 ほか
・チャック温度：-40～+200℃
・真空チャンバー 制御圧力：10～10-2Pa
- 設備状況
- 稼働中
パワーデバイスアナライザ (Power Device Analyzer & Curve Tracer)
- 設備ID
- KT-319
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- アジレント・テクノロジー(株) (Agilent Technologies, Inc.)
- 型番
- B1505A
- 仕様・特徴
- 基本的にC17のプローバと組み合わせて使用する。(別のプローバ等を使用される場合は、要相談)
・IV測定 電流: 10 fA～1 A 電圧: 2μV～200 V
- 設備状況
- 稼働中
インピーダンスアナライザ (Precision Impedance Analyzer)
- 設備ID
- KT-320
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- アジレント・テクノロジー(株) (Agilent Technologies, Inc.)
- 型番
- 4294A
- 仕様・特徴
- アジレント・テクノロジー(株)社製 4294A
基本インピーダンス確度 ±0.08%
周波数 40Hz～110MHz
真空プローバ；カスケード・マイクロテック社製 PLV50
チャックサイズ：Φ150mm，Φ100mm，小片基板 ほか
チャック温度：-40～+200℃
真空チャンバー 制御圧力：10～10-2Pa
- 設備状況
- 稼働中