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高性能半導体デバイス アナライザ＋プローバ (semiconductor device analyzer)
- 設備ID
- WS-023
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- キーサイト・テクノロジー株式会社 (Keysight Technologies, Inc.)
- 型番
- プローバ：長瀬産業社製（特注品）測定装置：アジレント社製B1500ALCRメータ4284A
- 仕様・特徴
- ・0.1 fAおよび0.5 μVまでの電流／電圧（IV）測定をサポート
・ハイ・パワー／メモリ・デバイス・テストのための高電圧パルス発生（最大±40 V）をサポート
・準静的および中間周波数キャパシタンス／電圧（CV）測定をサポート
- 設備状況
- 稼働中
誘導結合プラズマ 質量分析装置 (Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry)
- 設備ID
- WS-024
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社 (Thermo Fisher Scientific K.K.)
- 型番
- iCAP Qc ICP-MS
- 仕様・特徴
- 2-290までの質量数の元素をアルゴンプラズマ内に噴霧、イオン化させ、元素固有の質量数をモニターする事により元素を超高感度（一例：Li(7)：約3ppt,
Na(23)：約2ppt, Zn(64)：約1ppt, Pb(208)：約0.5ppt）で検出が可能な装置
- 設備状況
- 稼働中
フーリエ変換赤外分光計 (Fourier Transform Infrared Spectroscopy)
- 設備ID
- WS-025
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本分光株式会社 (JASCO Corporation)
- 型番
- FT/IR-6200＋加熱ATR測定部改造
- 仕様・特徴
- 測定波数範囲： 7800～350 cm-1
測定波数拡張範囲： 15000～20cm-1
表示波数範囲： 15000～0 cm-1
波数正確さ： ±0.01 cm-1以内（理論値）
- 設備状況
- 稼働中
高性能分光エリプソメータ (Spectroscopic Ellipsometry)
- 設備ID
- WS-026
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- 株式会社堀場製作所 (HORIBA, Ltd.)
- 型番
- UVISEL ER AGMS iHR320
- 仕様・特徴
- 波長範囲：190-2100nm
測定角度：60°、70°、75°
150mmウェハ対応、XY軸はマニュアルステージ
- 設備状況
- 稼働中
ダイシングソー (dicing saw)
- 設備ID
- WS-027
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- 株式会社ディスコ (DISCO Corporation)
- 型番
- DAD321
- 仕様・特徴
- ø 6対応のマニュアルダイシングソー
最大ワークサイズ 160 x 160
切削可能範囲
X軸：192mm
Y軸：162mm
Z軸有効ストローク：28.2ｍｍ
回転数範囲：3,000 - 40,000RPM
- 設備状況
- 稼働中
データコンバートシステム (data converter)
- 設備ID
- WS-028
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- 有限会社君塚製作所 (KSS Internet)
- 型番
- 特注品
- 仕様・特徴
- 装置データコンバートシステム及びバッチ送信システム
データ送信用PC DL20 Gen10 2LFF SATA 専用カスタマイズモデル
データ保存用サーバDL160 Gen10 8SFF SATA 専用カスタマイズモデル
データ保存用 ストレージ QNAP T1683XURN8016
ネットワーク装置 HUB NetGeAR XS712T-200AJS
- 設備状況
- 稼働中
電気計測装置群（オシロスコープ、スペクトルアナライザー、ＬＣＲメーター、等） (Electrical measuring device group)
- 設備ID
- WS-029
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- キーサイト株式会社エヌエフ回路設計ブロック (Keysight Technologies, Inc.NF CORPORATION)
- 型番
- DSO X-3054TN9322CZM2371
- 仕様・特徴
- １，オシロスコープ：DSOX3054T
帯域幅：500 MHz、
サンプリングレート： 4 GSa/s
入力インピーダンス： 1 M Ω
２，スペアナ：N9322C
周波数:9 kHz to 7 GHz
最大解析帯域幅:1 MHz
３，LCRメータM2371
測定周波数 1mHz～100kHz、設定分解能5桁
測定信号レベル 10mVrms～5Vrms/1μArms~200mArms
DCバイアス用電源内蔵 0～+2.5V
- 設備状況
- 稼働中
プラズマCVD装置 (TEOS-CVD)
- 設備ID
- WS-030
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- サムコ株式会社 (Samco Inc.)
- 型番
- PD-220
- 仕様・特徴
- プラズマCVDの原理による成膜
高いカバレッジ成形
基板サイズ６インチ以下
面内分布 5%以内(仕様)
標準条件での基板温度300℃
- 設備状況
- 稼働中
共焦点レーザー走査型顕微鏡 (Confocal Laser Scanning Microscopy: CLSM)
- 設備ID
- WS-031
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- 株式会社 エビデント (EVIDENT)
- 型番
- FLUOVIEW FV3000RS
- 仕様・特徴
- ・対物レンズ：10倍、20倍、40倍、60倍
・励起光源：405nm, 445nm, 488nm, 514nm, 561nm, 640nm
・高精細イメージング：最大4096x4096ピクセル
・高速イメージング：30fps(512x512ピクセル)
・Ｚドリフトコンペンセーター(IX3-ZDC)によるフォーカスの自動補正機能
・電動ステージ付き
・主に光検出磁気共鳴計測用として、532nmレーザ（CNI / MGL-S-532-SM-100mW）と音響光学素子（Gooch & Housego / 97-03912-18）がFV3000のオプショナルポートに光ファイバを介して接続されており、加えて532nmレーザとマイクロ波（DS Instruments / SG4400）を同期してパルス化するファンクションゼネレータ（Swabian Instruments / Pulse Streamer 8/2）とマイクロ波スイッチ群とアンプ（Mini-Circuits / ZHL-16W-43-S+）、さらには単一光子検出器（浜松ホトニクス C16531-050GD）も装備されている（マイクロ波用アンテナを含むサンプルホルダーについては要相談）。計測制御ソフトウェアはUlm大学で開発されたQudiを採用．
- 設備状況
- 稼働中
グロー放電分光分析装置 (Glow Discharge OpticalEmission Spectrometry)
- 設備ID
- WS-032
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- 株式会社堀場製作所 (HORIBA, Ltd.)
- 型番
- GDA750
- 仕様・特徴
- 軽元素（N, O, H等）の分析可能、分析範囲4mmφ以上、10mm□以上4"までのSi、ガラス基板
- 設備状況
- 稼働中