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ブラシスクラバ (Brush scrubber)
- 設備ID
- TU-009
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 全協化成 (Zenkyo)
- 型番
- 特注
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：20mm角～6インチ
- 設備状況
- 稼働中
スプレー現像装置 (Spray developer)
- 設備ID
- TU-059
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- アクテス (Actes)
- 型番
- ADE-3000S
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：3～6インチ
- 設備状況
- 稼働中
現像ドラフト (Draft chamber for development)
- 設備ID
- TU-060
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- - (-)
- 型番
- -
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
- 設備状況
- 稼働中
スピン乾燥機 (Spin dryer)
- 設備ID
- TU-061
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 東邦化成 (Toho Kasei)
- 型番
- ZAA-4
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～7インチ
- 設備状況
- 稼働中
コータデベロッパ (Coater developer)
- 設備ID
- TU-062
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- Suss (Suss)
- 型番
- ACS200Gen3
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：2～8インチ
カセットtoカセット
HMDS処理、コート 3ライン、現像 2ライン、エッジリンス、バックリンス、ホットプレート 4セット、クールプレート 1セット
- 設備状況
- 稼働中
水素アニール装置 (Hydrogen annealing)
- 設備ID
- TU-108
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- オリジナル (Original)
- 型番
- -
- 仕様・特徴
- 東北大学大学院工学研究科 金森 義明 教授が開発した装置
赤外線ランプ加熱
温度：最高1100℃
- 設備状況
- 稼働中
プラズマクリーナー (Plasma cleaner)
- 設備ID
- TU-211
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ヤマト科学 (Yamato)
- 型番
- PDC210
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
基板固定方式：静置（温度制御不可）
プラズマ方式：CCP、バレル式
ガス：O2、Ar
- 設備状況
- 稼働中
アルバック アッシング装置 (Ulvac asher)
- 設備ID
- TU-212
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック (Ulvac)
- 型番
- UNA-2000
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：4、6インチ
カセットtoカセット
プラズマ方式：CCP（2.45GHz）
ガス：O2、H2フォーミングガス
- 設備状況
- 稼働中
ブランソン アッシング装置 (Branson Asher)
- 設備ID
- TU-213
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ブランソン (Branson)
- 型番
- IPC4000
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
サンプルは石英治具に載せる
プラズマ方式：バレル式
ガス：O2
- 設備状況
- 稼働中
EVG プラズマ活性化装置 (EVG plasma activation)
- 設備ID
- TU-254
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- EVG (EVG)
- 型番
- 810
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
ガス：N2、O2、Ar
- 設備状況
- 稼働中