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超臨界洗浄・乾燥装置 (Supercritical Rinser & Dryer)
- 設備ID
- KT-117
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- (株)レクザム (Rexxam Co., Ltd.)
- 型番
- SCRD401
- 仕様・特徴
- 超臨界CO2により微細構造物を変形・破壊せずに洗浄・乾燥が可能。
・基板サイズ：MAXΦ4
- 設備状況
- 稼働中
水素アニール装置 (Hydrogen annealing)
- 設備ID
- TU-108
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- オリジナル (Original)
- 型番
- -
- 仕様・特徴
- 東北大学大学院工学研究科 金森 義明 教授が開発した装置
赤外線ランプ加熱
温度：最高1100℃
- 設備状況
- 稼働中
アニール炉 (Anneal funace)
- 設備ID
- UT-808
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ジェイテクト(旧光洋サーモシステム(株)) (JTEKT(formaly Koyo Thermosystem))
- 型番
- MT-2-8X32-AS
- 仕様・特徴
- 試料の熱処理ができる。
最高温度1150℃
- 設備状況
- 稼働中
恒温チャンバー (Forced Convection Oven)
- 設備ID
- UT-810
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ヤマト科学株式会社 (Yamato Scientific Co., Ltd.)
- 型番
- DKN402
- 仕様・特徴
- 室温から+10～250℃までの温度を一定に保つ送風低温恒温器です。
【温度制御範囲】室温+10～250℃【温度調節精度】±1℃（at 210℃）JTM K05【温度分布精度】±2.5℃（at 210℃）JTM K05【最高温度到達時間】約90分【温度制御方式】P.I.D制御【タイマ】1分～99時間59分および100～999時間50分（タイマウエイト機能付）【運転機能】定値運転、プログラム運転、クイックオートストップ、オートスタート、オートストップ【プログラムモード】プログラム運転 30ステップ
- 設備状況
- 稼働中
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