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メッキ装置 (Electroplating Equipment)
- 設備ID
- AT-029
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 山本鍍金試験器 (Yamamoto-ms)
- 型番
- 仕様・特徴
- ・試料サイズ:2インチ、4インチφ
・水槽:4インチウエハ用 アクリル製二重底タイプ、浴容量 4L
・ヒーター:ウエハ水槽用ヒーター 100V,100W
・陽極板:含燐銅
・濾過器:ミニフィルター20APFA型(PTFEチューブ/4.8 (dm3/min.)/0.5μmカートリッジタイプ)
・揺動装置:4インチ用パドル撹拌装置(回転数表示式)
・電源:入力電圧 AC100～200V±10%(50/60Hz±5%)
・出力電圧 DC 0～15V
・出力電流 0～10A
・最小分解能 10mV,1mA,0.1mC
・温度調整機能 1KW(ON/OFF PID制御)
・めっき液:微細配線、パンプ用無光沢硫酸銅(XP-CS)
・その他:筆めっき用にリード線付き筆具(筆先カーボン)あり
- 設備状況
- 稼働中
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