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試料作製装置群・スピンコーター・スピンコーター・グローブボックス (Sample preparation devices・Spin coater・Spin coater・Glovebox)

設備ID
CT-030
設置機関
公立千歳科学技術大学
設備画像
試料作製装置群・スピンコーター・スピンコーター・グローブボックス
メーカー名
ミカサ共和理研美輪製作所 (MikasaKYOWARIKENMiwa Manufacturing)
型番
1HD7 K-359S1 下置きガス循環精製装置付パージ式
仕様・特徴
グローブボックス
・パージ式ガス置換型
・サイドボックスのみ真空引ガス置換構造
設備状況
稼働中

スプレーコーター (Spray coater)

設備ID
NU-216
設置機関
名古屋大学
設備画像
スプレーコーター
メーカー名
サンメイ (Sunmay)
型番
DC110
仕様・特徴
・対応サイズ:最大 □220 mm
・移動範囲:縦横300 mm
・移動速度:10~200 mm/秒
・粒子径:約5~15 µm
設備状況
稼働中

スピンコータ (Spin Coater)

設備ID
RO-121
設置機関
広島大学
設備画像
スピンコータ
メーカー名
タツモ(株) (TAZMO)
型番
仕様・特徴
対応wafer:2inch、cut wafer
レジスト塗布
設備状況
稼働中

ミカサ スピンコータ (Mikasa Spin coater)

設備ID
TU-051
設置機関
東北大学
設備画像
ミカサ スピンコータ
メーカー名
ミカサ (Mikasa)
型番
1H-DXII
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
設備状況
稼働中

アクテス スピンコータ#1 (Spin coater)

設備ID
TU-052
設置機関
東北大学
設備画像
アクテス スピンコータ#1
メーカー名
アクテス (Actes)
型番
ASC-4000
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
設備状況
稼働中

アクテス スピンコータ#2 (Spin coater)

設備ID
TU-053
設置機関
東北大学
設備画像
アクテス スピンコータ#2
メーカー名
アクテス (Actes)
型番
ASC-4000W
仕様・特徴
サンプルサイズ:4,6,8インチ
設備状況
稼働中

コータデベロッパ (Coater developer)

設備ID
TU-062
設置機関
東北大学
設備画像
コータデベロッパ
メーカー名
Suss (Suss)
型番
ACS200Gen3
仕様・特徴
サンプルサイズ:2~8インチ
カセットtoカセット
HMDS処理、コート 3ライン、現像 2ライン、エッジリンス、バックリンス、ホットプレート 4セット、クールプレート 1セット
設備状況
稼働中

ゾルゲル自動成膜装置 (Automatic sol-gel deposition)

設備ID
TU-170
設置機関
東北大学
設備画像
ゾルゲル自動成膜装置
メーカー名
テクノファイン (Technofine)
型番
PZ-604
仕様・特徴
サンプルサイズ:4インチ
スピンコート、ベーク、ランプアニールの繰り返しを自動処理可能
設備状況
稼働中

スプレーコーター (Spray Coater)

設備ID
UT-513
設置機関
東京大学
設備画像
スプレーコーター
メーカー名
三明電子産技株式会社 (Sanmei Electronics Co. Ltd.)
型番
DC111
仕様・特徴
本装置はMEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコーターです。
1.MEMSデバイスに対応
2.凸凹面への膜厚均一塗布
3.ビア、トレンチ埋め込み塗布
4.ヒータ内蔵試料台を装備。最大100℃までの試料温度制御が可能です。
5.サーボモータは、低振動、低発熱、高精度の弊社「Si-servo」を使用しています。
設備状況
稼働中
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