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分光エリプソメータ (M-2000DI-T)
- 設備ID
- UT-303
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ジェー・エー・ウーラム・ジャパン (J.A.Woollam)
- 型番
- M-2000U
- 仕様・特徴
- □ 主な仕様
・測定波長：193～1690nm
・チャンネル数：690同時計測
・回転補償子型
- 設備状況
- 稼働中
形状・膜厚・電気特性評価装置群 (Series of analysis equipments, visual, thickness, and electrical/mechanical characteristic.)
- 設備ID
- UT-850
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ・キーエンス ・ブルカー ・東朋テクノロジー ・ズースマイクロテック ・日本分光 ・オリンパス ・エビデント（旧オリンパス） ・キーエンス (・Keyence ・BRUKER ・Toho Technology ・SUSS MicroTec ・JASCO ・Olympus ・EVIDENT (Ex.Olympus) ・Keyence)
- 型番
- ・VHX-6000 ・DektakXT ・Tohospec3100 ・Suss8”プローバ ・M-550 ・LEXT OLS5000 ・STM-7 ・VK-X1100(404nm)
- 仕様・特徴
- 枝番1：顕微鏡
枝番2：触針段差計
枝番3：光干渉式膜厚測定装置
枝番4：Suss8”プローバ,針を当てて電気的特性を測定する装置。8インチ対応。
枝番5：分光エリプソメータ―
枝番6：レーザー顕微鏡
枝番7：光学顕微鏡(200mmステージ、静止画撮影)
枝番8：共焦点型レーザー顕微鏡。一般居室にあるため、クリーンルームに持ち込み不可なサンプルも計測可能。
- 設備状況
- 稼働中
触針式段差計 (Stylus Profiler)
- 設備ID
- WS-021
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- ケーエルエー・テンコール株式会社 (KLA Corporation. )
- 型番
- プロファイラーP-15
- 仕様・特徴
- 試料サイズ150mm
3D表面形状測定器
基板サイズ ～6
- 設備状況
- 稼働中
高性能分光エリプソメータ (Spectroscopic Ellipsometry)
- 設備ID
- WS-026
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- 株式会社堀場製作所 (HORIBA, Ltd.)
- 型番
- UVISEL ER AGMS iHR320
- 仕様・特徴
- 波長範囲：190-2100nm
測定角度：60°、70°、75°
150mmウェハ対応、XY軸はマニュアルステージ
- 設備状況
- 稼働中