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エリプソメーター (Ellipsometer)
- 設備ID
- TT-016
- 設置機関
- 豊田工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- ガ－トナ－ (Gartner Sci. Corp.)
- 型番
- LSE
- 仕様・特徴
- ・シリコン酸化膜あるいはSiN膜等の単層あるいは2層膜の膜厚測定
・φ6インチ以下基板
- 設備状況
- 稼働中
表面形状測定器（段差計） (Stylus profiler)
- 設備ID
- TT-017
- 設置機関
- 豊田工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- KLAテンコール (KLA-Tencor)
- 型番
- アルファーステップ IQZ
- 仕様・特徴
- 触針段差計、材料は不問
φ4インチ程度
針先端が形状を沿って動けることが条件
- 設備状況
- 稼働中
触針式プロファイラ（段差計）（Alpha-Step D-500） (Stylus Profilometer （Alpha-Step D-500）)
- 設備ID
- TT-036
- 設置機関
- 豊田工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- KLA (KLA)
- 型番
- Alpha-Step D-500
- 仕様・特徴
- 触針段差計、材料は不問
φ4インチ程度（XY移動範囲は20x80mm）
レーザー利用の光てこ方式で、形状変化への追従性向上
垂直分解能0.038nm、段差測定再現性1σ＝0.5nm
最小0.03mgからの低針圧設定
- 設備状況
- 稼働中
ウェハゴミ検査装置 (Wafer dust counter)
- 設備ID
- TU-301
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- トプコン (Topcon)
- 型番
- WM-3
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
カセットtoカセット
- 設備状況
- 稼働中
膜厚計 (Film thickness measurement)
- 設備ID
- TU-302
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ナノメトリクス (Nanometrics)
- 型番
- NanoSpec3000
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
- 設備状況
- 稼働中
卓上型エリプソ (Desktop Ellipsometer)
- 設備ID
- TU-303
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- フォトニックラティス (Photonic lattice)
- 型番
- SE-101
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
- 設備状況
- 稼働中
エリプソ (Ellipsometer)
- 設備ID
- TU-304
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック (Ulvac)
- 型番
- -
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
- 設備状況
- 稼働中
Dektak 段差計 (Dektak surface profiler)
- 設備ID
- TU-305
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- Dektak (Dektak)
- 型番
- 8
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
- 設備状況
- 稼働中
Tencor 段差計 (Tencor profiler)
- 設備ID
- TU-306
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- Tencor (Tencor)
- 型番
- AlphaStep
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
- 設備状況
- 稼働中
分光エリプソ (Spectroscopic Ellipsometer)
- 設備ID
- TU-329
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社 (J. A. Woollam)
- 型番
- RC2-UI-TTk
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
測定波長域：210～1690 nm
入射角可変範囲：45～90度
ビーム径：通常3 mm
サンプルステージ：φ200 mm (自動マッピング、自動アライメント機構付）
測定データ：分光エリプソメトリーデータ（Ψ Δ）、ミューラー行列16成分、透過率、反射率、偏光解消度
解析ソフトウェア：CompleteEASE
- 設備状況
- 稼働中