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段差計 (Surface profiler)
- 設備ID
- NU-261
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 小坂研究所 (Kosaka Laboratory)
- 型番
- ET200A
- 仕様・特徴
- ・最大サンプルサイズ：φ160×厚さ52mm
・再現性 ：1σ 0.3nm以内
・測定範囲 ：Z：600µm，X：100mm
・分解能 ：Z：0.1nm，X：0.1µm
・測定力：10µN～500µN
- 設備状況
- 稼働中
ナノ粒子解析装置（ゼーターサイザー） (Zetasizer)
- 設備ID
- OS-123
- 設置機関
- 大阪大学
- 設備画像
- メーカー名
- シスメックス株式会社（マルバーン） (SYSMEX CORPORATION (Malvern))
- 型番
- NANO-ZS
- 仕様・特徴
- 【特徴】
動的散乱光法により溶液中に分散された粒子の粒子径や、ゼータ電位測定が可能な装置です。
低濃度または高濃度サンプルにも対応可能です。
（濃度0.1ppm～40%/Wでの測定が可能）
【仕様】
必要試料量：70μL
粒子径測定：0.6nm～6μm（動的光散乱法）
ゼータ電位測定：3nm～10μm
- 設備状況
- 稼働中
接触式膜厚測定器 (Stylus Profiler)
- 設備ID
- OS-126
- 設置機関
- 大阪大学
- 設備画像
- メーカー名
- ブルカージャパン株式会社 (Bruker Japan K.K.)
- 型番
- DektakXT
- 仕様・特徴
- 【特徴】
10nm以下の段差を測定できる触針式の膜厚測定器です。
3D機能を備えたプロファイリングシステムを搭載しており、3Dマッピングが可能です。
【仕様】
試料ステージ：150mmφ
分解能：0.4nm
垂直測定レンジ：1 mm
膜厚測定再現性（1σ）：5Å
走査距離上限：55mm
触針圧：1mg～15mg
- 設備状況
- 稼働中
分光エリプソメーター (Spectroscopic ellipsometer)
- 設備ID
- RO-531
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- J.A. Woollam Japan (J.A. Woollam Japan)
- 型番
- M2000-D
- 仕様・特徴
- 測定可能最小膜厚10nm,分光波長範囲193～1000nm、
- 設備状況
- 稼働中
干渉式膜厚計 (Spectroscopic reflectometer)
- 設備ID
- RO-532
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- ナノメトリクスジャパン (Nanometrics Inc)
- 型番
- AFT 5000
- 仕様・特徴
- 可視光及び紫外光光源、多層膜対応解析ソフト搭載。
- 設備状況
- 稼働中
表面段差計 (Profilometer)
- 設備ID
- RO-534
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- BRUKER (BRUKER)
- 型番
- Dektak XT-E
- 仕様・特徴
- 対応wafer：４inch以下
垂直範囲：10nm～1mm、
垂直解像度：最高0.1nm
- 設備状況
- 稼働中
干渉膜厚計 (Optical Interferometer)
- 設備ID
- TH-801
- 設置機関
- 豊橋技術科学大学
- 設備画像
- メーカー名
- 大日本スクリーン (Screen)
- 型番
- VM-1230
- 仕様・特徴
- 干渉膜厚計。SiO2,SiN,poly-Siの膜厚測定。多層膜も可
対応基板：φ2インチ～φ6インチ
- 設備状況
- 稼働中
段差計 (Surface Step Profiler)
- 設備ID
- TH-802
- 設置機関
- 豊橋技術科学大学
- 設備画像
- メーカー名
- 小坂研究所 (Kosaka Lab)
- 型番
- ET4000A
- 仕様・特徴
- 触針型段差計
最大サンプルサイズ：210×210mm
測定範囲：Z～100μm X～100mm
分解能 Z：0.1nm X：0.01μm
針圧：0.5μN～500μN
- 設備状況
- 稼働中
エリプソメータ (Ellipsometer)
- 設備ID
- TH-803
- 設置機関
- 豊橋技術科学大学
- 設備画像
- メーカー名
- ルドルフ (Rudolph)
- 型番
- AutoEL-III
- 仕様・特徴
- 単色(632.8nm)エリプソメータ
試料サイズ：φ4インチ以下
- 設備状況
- 稼働中
4探針抵抗測定装置 (Four-Point Probe Measurement System)
- 設備ID
- TH-841
- 設置機関
- 豊橋技術科学大学
- 設備画像
- メーカー名
- ナプソン (Napson)
- 型番
- RT-6-8
- 仕様・特徴
- 4探針抵抗測定装置
対応基板：φ6インチ以下
- 設備状況
- 稼働中