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触針式プロファイラー [Dektak XT-A #1] (Surface Profilometer [Dektak XT-A #1])
- 設備ID
- NM-626
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![触針式プロファイラー [Dektak XT-A #1]](data/facility_item/NM-626.jpg)
- メーカー名
- ブルカージャパン (Bruker)
- 型番
- Dektak XT-A
- 仕様・特徴
- ・用途：段差測定
・分解能：1Å（6.5umレンジ）
・走査距離：55mm
・触圧範囲：0.03-15mg
・最大試料サイズ：φ8inch
・ その他：自動ステージ、3Dマッピング、粗さ測定、ストレス測定
- 設備状況
- 稼働中
分光エリプソメーター [M2000] (Spectroscopic Ellipsometer [M2000])
- 設備ID
- NM-655
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![分光エリプソメーター [M2000]](data/facility_item/1687417245_11.jpg)
- メーカー名
- ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社 (J.A.Woollam Co., Inc.)
- 型番
- M2000
- 仕様・特徴
- ・波長範囲：250 ~ 1000 nm
・補償子：回転式
・入射角：自動制御、45～90°
- 設備状況
- 稼働中
分光エリプソメーター [UNECS-2000A] (Spectroscopic Ellipsometer [UNECS-2000A])
- 設備ID
- NM-663
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![分光エリプソメーター [UNECS-2000A]](data/facility_item/1709196827_11.jpg)
- メーカー名
- アルバック (ULVAC)
- 型番
- UNECS-2000A
- 仕様・特徴
- 1. 光源：ハロゲンランプ
2. 波長範囲：530～750 nm
3. スポット径：1mm
4. 入射角：70°固定
5. 試料サイズ：最大φ200mm
- 設備状況
- 稼働中
触針式プロファイラー [Dektak XT-A #2] (Surface Profilometer [Dektak XT-A #2])
- 設備ID
- NM-666
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![触針式プロファイラー [Dektak XT-A #2]](data/facility_item/1733114964_11.jpg)
- メーカー名
- ブルカージャパン (Bruker)
- 型番
- Dektak XT-A
- 仕様・特徴
- ・用途：段差測定
・分解能：1Å（6.5umレンジ）
・走査距離：55mm
・触圧範囲：0.03-15mg
・最大試料サイズ：φ8inch
・ その他：自動ステージ、3Dマッピング、粗さ測定、ストレス測定
- 設備状況
- 稼働中
ダイナミック光散乱光度計 (Dynamic Laser Scattering Spectrometer)
- 設備ID
- NR-303
- 設置機関
- 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 大塚電子 (Otsuka Electoronics)
- 型番
- DLS-6000
- 仕様・特徴
- ・角度可変
- 設備状況
- 稼働中
分光エリプソメーター (Spectroscopic Ellipsometer)
- 設備ID
- NR-702
- 設置機関
- 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 堀場ージョバンイボン (HORIBA JOBIN YVON)
- 型番
- UVISEL ER AGMS-NSD
- 仕様・特徴
- ・波長範囲: 0.6 eV 〜 6.0 eV（206 nm 〜2066 nm ）
・スポット径: 約 5 mm * 2 mm
- 設備状況
- 稼働中
微細形状測定装置 (Microfigure Measurering Instrument)
- 設備ID
- NR-703
- 設置機関
- 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 小坂製作所 (Kosaka)
- 型番
- ET200
- 仕様・特徴
- ・再現性 0.3nm以内
・分解能 Z：0.1nm X：0.1μm
- 設備状況
- 稼働中
動的光散乱（DLS） (Dynamic Light Scattering Analyzer (DLS))
- 設備ID
- NU-013
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- Malvern社 (Malvern)
- 型番
- Zetasizer Nano ZS
- 仕様・特徴
- ・粒径分布、ゼータポテンシャル、分子量測定
・測定可能粒径：0.6nm-6μm、ゼータ電位：5nm-10μm
・分子量：1000-2×107Da
・試料濃度：<10nm : 0.5g/l、10nm-100nm : 0.1mg/l、100nm-1μm : 0.01g/l、>1μm : 0.1g/l
・ゼータ電位：-200～200mV
・光学系：レーザードップラー法
- 設備状況
- 稼働中
粒径測定装置 ゼータ電位・粒径測定システム(ゼータ電位、粒径・粒度分布） (Particle Size & Zeta-potential Analyzer)
- 設備ID
- NU-020
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 大塚電子(株) (Otsuka Electronics)
- 型番
- ELSZ-2
- 仕様・特徴
- ・測定濃度範囲 ：0.001 % ～ 10 %
・ゼータ電位 ：-200 ～ 200 mV
・電気移動度 ：-20×10-4～20×10-4cm2/V・s
・粒子径 ：0.6 nm ～ 7000 nm
・温度 ：10～90 ℃
・測定可能サンプル：微粒子分散液
・平板試料用セル（オプション）を用いた平板
・フィルム状サンプル測定にも対応しています。
・pHタイトレーター装備
・光学系：レーザードップラー法
低誘電率セル購入済み
- 設備状況
- 稼働中
小型微細形状測定機 (Surface profiler)
- 設備ID
- NU-220
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 小坂研究所 (Kosaka Laboratory)
- 型番
- ET200
- 仕様・特徴
- ・最大サンプルサイズ：φ160×厚さ48mm
・再現性 ：1σ 1nm以内
・測定範囲 ：Z：600 µm，X：100mm
・分解能 ：Z：0.1 nm，X：0.1 µm
・測定力：10 µN〜500 µN
- 設備状況
- 稼働中